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半导体无尘车间人员管理与准入规范人员是无尘车间比较大污染源,必须执行全流程管控。所有人员经培训考核合格方可上岗,掌握SOP与应急处置。进入执行三级更衣:普通更衣→洁净更衣→风淋室,穿戴无尘服、口罩、手套、鞋套,杜绝毛发、皮屑脱落。
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半导体行业无尘车间的***要求半导体与芯片制造对无尘车间的要求达到行业***,因微小尘埃(≥0.1μm)可能导致芯片线路短路、断路,直接影响良率。车间洁净等级通常为ISO1级至ISO5级(十级至百级),部分先进制程(如7nm以下)
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